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  • 플라즈마 화학기상 증착기 PECVD

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 745414-000-00
    • 모델명
    • PES-103
    • 제조사
    • (주)울텍
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

Chip공정

1. Quality of SiOx, SiNx Deposition - Deposition Rate : ≥ 100 Å/min - Uniformity of Reflective Index of SiO2 : 1.46 ± 0.06 (Five pints : center, top, bottom, left, right) 2. Process Chamber - Chamber material : Anodizing Alumin