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공동장비 검색

  • 산 세정장치 Acid Wet-station

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 745293-000-00
    • 모델명
    • 제작품
    • 제조사
    • (주)두리텍
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

Chip공정

- Main Body ○ Size(mm): upto 2200x1000x1985 mm, Body: Press Ivory PVC upto 8t, 5t covering ○ Frame: SS41 Square pipe frame with anti-corrosive paint coated ○ Anti Static N2 Gun & 0.01um filter (1set), Anti Static DI Gun (1set) ○ Pipe plumbing: PF