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  • 연마기 Polishing & Lapping system

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 745296-000-00
    • 모델명
    • SP460/P-F
    • 제조사
    • (주)NTS
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

Chip공정

Polishing Plate & Unit Plate Size : Ø457mm×Ø180mm Lapping Plate Speed : 1 ~ 250 rpm Setting Time : 0.1 ~ 999 min Polishing Spindle Unit Ball Bearing Type Motor Drive (kW) : HITACHI 2.2kW 6P Plate Size: O.DØ457 mm x I.DØ180 mm