박막형성장비
화합물 박막 태양전지 제조용 공정장비
Glass나 SUS 기판 등을 이용하여 CIGS 박막을 증착한다.
System 구성 : Process Chamber, Load-Lock Chamber Effusion Cell : 20cc, 4set (Cu, In, Ga, NaF) 125cc, 1set (Se) Substrate 사이즈 : 100mm 100mm Substrate Heater : Max. 700℃ Thickness Uniformity : ≤±5%@2 DC Power Supply : 45V, 25A, 5 s
