박막형성장비
셀 쪽으로 들어오는 태양빛의 반사를 방지하고 효율을 향상하기 위한 증착 장비
CIGS 박막태양전지의 n-type TCO 박막인 ZnO 박막을 형성
System 구성 : Process Chamber, Load-Lock Chamber Gas Operation : Gas - N2, H2, B2H6 Source - DEZn, H2O Substrate Size : 100mm 100mm Substrate Heater : Max. 500℃(±5%) System Contol : PLC Program with PC Additional System : Gas C
