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공동장비 검색

  • 유기세정장치 Alkali Wet-station

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 745294-000-00
    • 모델명
    • 제작품
    • 제조사
    • (주)두리텍
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

Chip공정

- Main Body ○ Size(mm): upto 2000x900x1985, Body: SUS304 Plate covering ○ Frame: SUS304 Square pipe frame ○ Anti Static N2 Gun & 0.01um filter (1set), Anti Static DI Gun (1set) ○ Pipe plumbing: PFA tube & C-PVC, PVC pipe, Supply unit : SUS 304