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  • 연마기 Grinding system

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 745297-000-00
    • 모델명
    • GH180/P-L
    • 제조사
    • (주)두리텍
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

Chip공정

Wheel Spindle Unit Ball bearing spindle Drive : Siemens Motor 1.5Kw, 220V, 50Hz, 3P by Inverter Control Wheel specification: Ø180×5mmt×5mmh Wheel speed: 0~1500 rpm variable Spindle Surface/Circular Run-out : ≤ 3 μm Work Spindle Unit