1. General Specification - Si 오염 제거 가능 할 것 - 플라즈마클리닝 결과 샘플 간 유의차 없을 것 - Main control 제어 : PLC - 알람 및 Stop 기능 : Pump 과부하시 알람, 비상 Stop기능, 기타 System 이상 시 Alarm&Display - Auto vent valve : N2 vent valve 2. Power Source - RF power frequenc