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  • 유기금속기상화학증착기 Metal-organic chemical vapor deposition SYSTEM

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 748731-000-00
    • 모델명
    • K465i GaN MOCVD System
    • 제조사
    • Veeco
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

Epi성장공정

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