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  • 원자간력 현미경 AFM Controller

    • 보유기관
    • LED-IT융합산업화연구센터 [링크]
    • 관리번호
    • 748191-000-00
    • 모델명
    • XE-100
    • 제조사
    • ㈜파크시스템즈
분야 1

반도체장비

분야 2
기술분야
활용분야

공정분석

1. Complete Atomic Force Microscope System AFM controller and Data acquisition system X,Y (7.5um) Z head (>5 mm x >5 mm) X,Y manual micrometer Upright High power optical microscope (Digital CCD camera) AFM Data acquisition software AFM I