이학, 공학계열
- 금속 및 세라믹의 표면 및 파단면 관찰 - 반도체에서 기판위에 증착시킨 증착층의 두께 관찰 - 시료내의 불순물의 위치, 분말(powder)의 형태와 크기 관찰 - 생물 및 고분자 시료 관찰
전계 방출 주사 전자현미경은 일반적으로 열전자 방출방식의 전자총(electron gun)과 달리 전자원인 필라멘트 금속(filament metal) 표면에 강한 전기장을 걸어주어 전자를 방출시키는 방식의 주사 전자현미경이다. 이러한 현미경의 가장 큰 특징은 고분해능(high resolution)의 영상(image)을 관찰할 수 있는 것이다.
- Resolution : 1.5㎚ 15㎸ - Magnification : x25 ~ x300,000 - Electron gun : Cold-cathode field emission type electron gun - Accelerating voltage : 0.5 ~ 30㎸
