이학, 공학계열
현미경
- 이·공학전반에 걸친 모든 시료 분석에 활용 - 시료의 형상분석 결정구조 분석 - 시료의 원소분석 (점분석, 면분석, Mapping) - 고 분해능 관찰(HR image) - 다양한 계면관찰
전자의 입자성과 파동성을 활용하는 것으로 광(light) 대신에 파장이 더욱 짧은 전자빔을 사용하여 시료와 반응하여 나오는 다양한 신호(signal)를 이용한다. 다양한 시료에 대해서 고배율의 각종 정보를 얻고 결상렌즈를 통해 직접관찰, 측정 및 데이터 관리, 사진촬영 등의 자료처리가 가능하도록 고안된 장비이다. 재료나 특수소재, 화학제품, 금속, 세라믹이나 고분자화합물의 경우 미세한 조직 및 결정에 대한 정보획득 분석 및 평가에 활용한다.
- Gun Type : FEG - 최고 가속전압 : 200kV, 최저 사용전압 : 80kV - EDS, STEM 부착 - 점 분해능 : 0.24nm, 선분해능 : 0.10nm - Tilting angle of α,β : 35°이상
