이학, 공학계열
- 박막 두께 측정 - 표면 거칠기 측정
Surface Profiler System은 표면의 단차 및 거칠기를 측정하는 장비로 바늘이 재료의 표면을 긁고 지나가면 표면과 필름(film)의 높이 차이를 측정하는 장비이다. 단차의 크기가 수 ㎚에서 300㎚까지 측정이 가능하고 측정거리는 2㎚-10㎚이다. 시료(sample)의 크기는 6＂이하 두께 21㎚이하의 시료이면 가능하다.
- Vertical range : 100 Å to 655KÅ - Vertical resolution : 10 angstrom - Scan length range : 50 microns to 30mm(2miles to 1.2inches) - Scan time range : 3 to 50 seconds - Software leveling : two-point programmable or cursor leveling - Stylus(stan
