미세구조분석
Biology, Material 표면 및 내부 미세구조, 미립자 형상 및 사이즈 측정
1. 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석 2. 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder) 표면의 미세구조 및 형상 관찰 3. 동,식물 세포의 미세구조 관찰 4. 반도체 등의 박막 두께 측정
Cold Type의 Gun Electron Source로부터 인가된 Electron Beam이 시료에 조사되면서 이때 발생되는 다양한 전자를 이용하여 여러 분야 시료표면 미세구조를 관찰, 정성 및 정량하여 시료의 특성 및 결합을 분석하는데 유용한 분석기기
1. Resolutoin : 1.5㎚ 2. Magnification : 20×∼ 300,000× 3. Electron gun : Cold Type Field Electron Source
