유도결합플라즈마 방출분광기
플라즈마를 이용하여 물질의 고유 분광도를 측정하여 시료내의 물질을 분석하는 장비
실리콘 태양전지 셀, 박막형, CIGS 를 전처리 하여 플라즈마에 의해 나타나는 특정 빛의 파장을 읽어들여 시료내부의 성분의 정성 정량분석을 가능하게 한다.
. ppb급 정량/정성 분석 장비. . 태양전지 용 실리콘 웨이퍼의 도핑 농도(B, P) 측정. . 기타 용액상태 시료내의 다원소 동시분석. . 분광기 2기 장착으로 ICP-Mass급 성능 . Wavelength range : 160 to 850nm . Mounting system : Vacuum Czerny tuner type . First Focal length : 1000mm . Second Focal leng
