박막증착장비
4개의 스퍼터 건을 이용하여 동시에 여러물질을 증착시키는 장비이다.
박막태양전지의 제조에서 흡수층을 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착시키는 장비이며 4개의 스퍼터건을 이용하여 동시에 여러개의 소재를 증착시킬 수 있어 연구개발에 이용된다.
Film thickness uniformity : ≤ ±5% on OD 100x100mm substrate Film composition uniformity : ≤ ±5% Film resistivity : ≤ ohm cm Rotation speed : 5～30 RPM DC power supply : 1kW - 3set(Noise Filter) Heating Temperature : Max. 700℃ ± 1% Sample Size
