세정장비
박도체 박막 제조용 기판의 세정 및 식각부산물의 세정을 위해 유기용제 및 산염기 용액을 공급/배출함
기판의 세정을 위해 SC1 세정을 실시 각각의 BATH에서 세정
Glass & Wafer : 100*100 5매, Max.6" Size 대응 Cassette : 전용 Cassette Clean Class : Class 1000 Equipment Material : Frame - SUS 304 Main Body - Ivory PVC Plate Tower Lamp : 3Color (Red : Alarm, Green : Stand-By, Yellow
