박막형성장비
전자빔을 이용하여 고융점 금속을 증발시켜 태양전지용 금속전극을 형성시키는 장비 여러 금속 물질을 E-Beam source와 Thermal source를 이용하여 선택적 사용이 용이
Glass 나 SUS 기판을 이용하여 제작된 CIGS 박막 태양전지 등의 상부 전극 형성을 위하여 Electron beam 을 이용하여 전극을 형성
System 구성 : Process Chamber E-Beam Gun & Power Supply : 15cc, 4pocket, 6kW, source 270〬 Deflection Thermal Source & Power Supply : 3kW(10V, 300A,1set), Thermal W boat Substrate 사이즈 : 100mm 100mm System Contol : PLC Based Touch Panel Contr
